压电传感器的一些相关加工工艺介绍
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摘要：关于压电传感器的一些相关加工工艺介绍，大家来了解一下。
除了制造过程中常用的温度老化和电老化外，处理压电传感器释放残余应力稳定性的方法主要有两种，即热处理和机械方法。
压电传感器的一些相关加工工艺介绍
【概要描述】关于压电传感器的一些相关加工工艺介绍，大家来了解一下。
除了制造过程中常用的温度老化和电老化外，处理压电传感器释放残余应力稳定性的方法主要有两种，即热处理和机械方法。
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关于压电传感器的一些相关加工工艺介绍，大家来了解一下。
除了制造过程中常用的温度老化和电老化外，处理压电传感器释放残余应力稳定性的方法主要有两种，即热处理和机械方法。
1.热处理方法
多用于铝合金力压电传感器，在毛坯加工成弹性元件后进行，主要有逆淬法、冷热循环法、恒温时效法。
(1)反向淬火法
也叫深冷快热法。将铝合金弹性元件置于-196的液氮中，保温12小时后，迅速喷上新的高速蒸汽或放入沸水中。由于低温和快速加热产生的应力方向相反，相互抵消，从而达到释放残余应力的目的。试验表明，采用液氮——-高速蒸汽法可降低残余应力84%，采用液氮3354-沸水法可降低残余应力50%。
(2)冷热循环法
冷热稳定处理工艺为-1964小时/1904小时。三次循环后，残余应力可降低90%左右，且组织稳定，微塑性变形抗力高，尺寸稳定性好。释放残余应力的效果如此明显。一是加热时，原子热运动的能量增加，晶格畸变减少或消失，内应力降低。上限温度越高，原子热运动越大，塑性越好，更有利于残余应力的释放。二是由于冷热温度梯度产生的热应力和残余应力的相互作用，重新分配，获得降低残余应力的效果。
(3)恒温老化法
恒温时效不仅可以消除机械加工产生的残余应力，还可以消除热处理产生的残余应力。LY12硬质铝合金在200高温时效时，残余应力释放量与时效时间的关系表明，保温24小时可降低约50%的残余应力。
2.机械方法
机械稳定处理通常在压电传感器电路补偿、调整、密封，产品基本成型时进行。主要工艺有脉动疲劳法、过载静压法和振动时效法。
(1)脉动疲劳法
测压元件安装在低频疲劳试验机上，上限为额定载荷或120%额定载荷，以每秒3 ~ 5次的频率循环5000 ~ 10000次。能有效释放弹性元件、电阻应变片、应变胶层的残余应力，提高零点和灵敏度稳定性的效果极其明显。
(2)超载静压法
理论上，它适用于各种量程，但在实际生产中，铝合金小量程压电传感器被广泛使用。其过程是：在专用的标准砝码加载装置或简易的机械螺旋加载设备中，对称重传感器施加125%额定载荷4 ~ 8小时，或施加110%额定载荷24小时。这两个过程都可以达到释放残余应力，提高零点稳定性和灵敏度的目的。过载静压工艺由于设备简单、成本低、效果好，被铝合金力传感器厂家广泛采用。
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